#o3 92		
20	1.18E-06	8.18E-07
21	2.05E-06	1.52E-06
22	3.52E-06	2.61E-06
23	4.58E-06	3.5E-06
24	6.04E-06	4.62E-06
25	7.12E-06	5.48E-06
26	8.06E-06	6.25E-06
27	8.99E-06	7.03E-06
28	9.83E-06	7.72E-06
29	1.03E-05	8.08E-06
30	1.1E-05	8.7E-06
31	1.13E-05	8.97E-06
32	1.16E-05	9.24E-06
33	1.13E-05	9.05E-06
34	1.12E-05	8.96E-06
35	1.08E-05	8.71E-06
36	1.12E-05	8.87E-06
37	1.11E-05	8.92E-06
38	1.09E-05	8.78E-06
39	8.96E-06	7.23E-06
40	6.04E-06	4.73E-06